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陶瓷封裝石墨模具過程所用的石墨模具材料

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2021-09-14 16:04:36

陶瓷封裝石墨模具過程所用的石墨模具材料,主要為超細顆粒結(jié)構(gòu)、高純度和高石墨化度的石墨材料,要求其平均粒徑小于15μm,甚至10μm以下,中等氣孔尺寸小于2μm。用此炭素原料做成的石墨模,氣孔率小、結(jié)構(gòu)致密、表面光潔度高、抗氧化性較強等優(yōu)點,平均使用壽命可達30~40次。

利用人造石墨材料熱變形極小的特點,可制造晶體管的陶瓷封裝石墨模具石墨模具和支架,現(xiàn)已廣泛使用,它已成為發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)不可缺少的材料。


陶瓷封裝石墨模具 涂層石墨基座具有耐高溫、抗氧化、耐沖刷、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性,物理化學(xué)性能穩(wěn)定。

與高純度石墨相比較,高純石墨在400℃時開始發(fā)生強烈氧化,即使溫度不高,長期應(yīng)用也會因氧化而掉粉末,會依附工件和臺面或污染使用環(huán)境,因此陶瓷封裝石墨模具涂層石墨基座作為一種新耗材,陶瓷封裝石墨模具設(shè)備、粉末燒結(jié)、發(fā)熱元件等工序上逐漸代替高純石墨。

石墨模具具有優(yōu)秀的導(dǎo)熱及導(dǎo)電性能,線收縮系數(shù)低等很好的熱穩(wěn)定性能及抗加熱沖擊性,具有良好的光滑和抗磨性,易于加工,機械加工性能好,能夠制造成外形復(fù)雜、精度高的模具,耐化學(xué)腐蝕與多數(shù)金屬不易發(fā)作反響。